2024年6月5日，清华大学张鸣研究员应国家数学与交叉科学中心邀请做客综合论坛，并做了题为“光刻机及工件台”的学术报告。报告会由高小山研究员主持，多位师生参加了本次报告会。

　　在本次报告中，张鸣研究员介绍了光刻机的原理、发展历史及现状，介绍了光刻机双工件台的原理、构成和关键技术，说明了其超精密运动控制的主要难点在于各类误差的高精数学建模和先进高效超精密运动控制算法的运用。

　　张鸣，清华大学机械系研究员，博士生导师，主要研究领域为高端光刻机超精密工件台的研发，包括双工件台系统结构设计、双工件台高性能驱动和双工件台超精密位移测量。负责及参与重大专项、973、863、自然科学基金、重点研发计划等9项国家级项目（课题）。发表论文被SCI收录44篇，EI收录110篇，申请专利161项，获得中国发明专利授权123项，美国专利授权21项。