张鸣研究员，清华大学

光刻机及工件台

6月5日16:00

简要介绍光刻机的原理、发展历史及现状；简要介绍光刻机双工件台的原理、构成和关键技术。

张鸣，清华大学机械系研究员，博士生导师，主要研究领域为高端光刻机超精密工件台的研发，包括双工件台系统结构设计、双工件台高性能驱动和双工件台超精密位移测量。负责及参与重大专项、973、863、自然科学基金、重点研发计划等9项国家级项目（课题）。发表论文被SCI收录44篇，EI收录110篇，申请专利161项，获得中国发明专利授权123项，美国专利授权21项。